高纯钽靶

时间:2024-06-23 点击:93次

钽靶

化学符号:Ta  
原 子 量:180.9479

纯度:3N5
密    度:16.6 g/cm3 
熔    点:2996℃
在10-4Torr蒸发温度: 2590℃ 
溶 解 于:热碱、氢氟酸
电 阻 率:13-16μΩ?cm 
线膨胀系数:6.5×10-6℃-1
功 函 数:4.15-4.25eV 
热 导 率:0.54W/(cm?K)
机械和化学性质:形成好的薄膜。耐酸性和延展性好。
应    用:Ta膜主要用作薄膜电容器和抗蚀图层。

备注:

靶材形状:板材,圆片,矩形,方形,圆环,圆管,台阶圆片,台阶矩形,其他规格根据客户要求定做. 提供规格的铜靶托、钼靶托、铝靶托、钛靶托;提供金属靶材,合金靶材,陶瓷靶材的背面金属化服务;提供金属靶材,合金靶材,陶瓷靶材与靶托的绑定服务。


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史永泰
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