钽靶
化学符号:Ta
原 子 量:180.9479
纯度:3N5
密 度:16.6 g/cm3
熔 点:2996℃
在10-4Torr蒸发温度: 2590℃
溶 解 于:热碱、氢氟酸
电 阻 率:13-16μΩ?cm
线膨胀系数:6.5×10-6℃-1
功 函 数:4.15-4.25eV
热 导 率:0.54W/(cm?K)
机械和化学性质:形成好的薄膜。耐酸性和延展性好。
应 用:Ta膜主要用作薄膜电容器和抗蚀图层。
备注:
靶材形状:板材,圆片,矩形,方形,圆环,圆管,台阶圆片,台阶矩形,其他规格根据客户要求定做. 提供规格的铜靶托、钼靶托、铝靶托、钛靶托;提供金属靶材,合金靶材,陶瓷靶材的背面金属化服务;提供金属靶材,合金靶材,陶瓷靶材与靶托的绑定服务。